Кварц ханцуй: Микроэлектроник төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийн түлхүүр
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болох кварцын ханцуй нь микроэлектроникийн төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг сайжруулахад чухал алхам хийж байна. Технологийн хурдацтай хувьслын ачаар кварцын ханцуй нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд урьд өмнө хэзээ ч байгаагүй чухал үүрэг гүйцэтгэж байна.
Кварцын ханцуй нь голчлон цахиурын давхар исэл (SiO2) -ээр хийгдсэн цилиндр хэлбэртэй бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд халуунд тэсвэртэй, ихэнх химийн бодисуудад идэвхгүй байдаг. Энэ нь хагас дамжуулагч боловсруулах тоног төхөөрөмжид үйлдвэрлэлийн янз бүрийн үе шатанд нарийн ширхэгтэй ялтсуудыг дэмжих, хамгаалахад ашиглагддаг. Жижиг, хурдан, илүү үр ашигтай микроэлектроник төхөөрөмжүүдийн эрэлт хэрэгцээ нэмэгдэхийн хэрээр сайжруулсан гүйцэтгэлийн шинж чанартай кварцын ханцуйны хэрэгцээ мөн нэмэгдэж байна.
ДэвшилтэтКварц ханцуйХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хөгжил
Дэвшилтэт кварцын ханцуйнуудыг одоо сайжруулсан гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг хангадаг шинэлэг шинж чанаруудаар боловсруулж байна. Эдгээр ханцуйнууд нь хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх явцад тохиолддог өндөр температур, идэмхий химийн бодисыг тэсвэрлэхийн зэрэгцээ бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалах зориулалттай.
Мөн кварцын ханцуйны хэрэглээ нь уламжлалт хэрэглээнээсээ илүү өргөжсөн. Технологийн инженерүүд ургацыг сайжруулах, зардлыг бууруулах арга замыг эрэлхийлж байгаа тул кварцын ханцуйвчийг атомын давхаргын хуримтлал (ALD) болон химийн уурын хуримтлал (CVD) гэх мэт шинэ процессуудад нэвтрүүлж байна. Эдгээр дэвшилтэт хуримтлуулах техник нь гүйцэтгэлийг алдагдуулахгүйгээр өндөр температур, хатуу процессын нөхцлийг тэсвэрлэх чадвартай бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг шаарддаг.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл жижиг геометр, илүү дэвшилтэт технологи руу шилжиж байгаа тул кварцын ханцуйны эрэлт өсөх хандлагатай байна. Үйлдвэрлэгчид дараагийн үеийн төхөөрөмжүүдийн сорилтыг даван туулахыг хичээж байгаа тул кварцын ханцуй нь өндөр хүчин чадалтай микроэлектроник үйлдвэрлэхэд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг хэвээр байх болно.
Шинэ материал, үйлдвэрлэлийн процессыг хөгжүүлснээр кварцын ханцуйнууд нь ирээдүйд илүү өндөр гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг санал болгох төлөвтэй байна. Кварцын ханцуйны өндөр температурыг тэсвэрлэх, хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хадгалах, химийн халдлагыг эсэргүүцэх чадвар нь хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх процесст чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
Цаашид кварцын ханцуйны технологи нь бидний мэдэх хагас дамжуулагчийн салбарын ирээдүйг тодорхойлоход бэлэн байна. Төхөөрөмжүүд жижгэрч, илүү нарийн төвөгтэй болохын хэрээр кварцын ханцуйнууд нь дараагийн үеийн хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэхэд илүү өндөр бүтээмж, илүү найдвартай байдал, өртөг хэмнэлттэй байх боломжийг үйлдвэрлэгчдэд чухал үүрэг гүйцэтгэсээр байх болно.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 9-р сарын 25-ны хооронд