Өргөст ялтас нь цэвэр цахиураар хийгдсэн (Si).Ерөнхийдөө 6 инч, 8 инч, 12 инчийн үзүүлэлтээр хуваагддаг бөгөөд энэ өрөм дээр үндэслэн вафель үйлдвэрлэдэг.Өндөр цэвэршилттэй хагас дамжуулагчаас болор татах, зүсэх зэрэг процессоор бэлтгэсэн цахиурын вафельсийг бэка гэж нэрлэдэг.ашиглах нь тэд дугуй хэлбэртэй байдаг.Төрөл бүрийн хэлхээний элементийн бүтцийг цахиур хавтан дээр боловсруулж, тодорхой цахилгаан шинж чанартай бүтээгдэхүүн болгож болно.функциональ нэгдсэн хэлхээний бүтээгдэхүүн.Вафель нь маш жижиг хэлхээний бүтцийг бий болгохын тулд хэд хэдэн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессыг дамждаг бөгөөд дараа нь төрөл бүрийн электрон төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг чипс болгон хайчилж, савлаж, туршиж үздэг.Вафель материалууд нь 60 гаруй жилийн технологийн хувьсал, үйлдвэрлэлийн хөгжлийг туулж, цахиур давамгайлж, шинэ хагас дамжуулагч материалаар хангагдсан үйлдвэрлэлийн нөхцөл байдлыг бүрдүүлжээ.
Дэлхийн гар утас, компьютерийн 80 хувийг Хятадад үйлдвэрлэдэг.Хятад улс өндөр хүчин чадалтай чипнийхээ 95 хувийг импортоос авдаг тул Хятад улс жил бүр чипс импортлоход 220 тэрбум ам.доллар зарцуулдаг нь Хятадын нэг жилийн нефтийн импортоос хоёр дахин их юм.Фотолитографийн машин, чип үйлдвэрлэхтэй холбоотой бүх тоног төхөөрөмж, материалууд, тухайлбал өргүүр, өндөр цэвэршилттэй металл, сийлбэрийн машин гэх мэтийг хаасан байна.
Өнөөдөр бид вафель машиныг хэт ягаан туяагаар арилгах зарчмын талаар товч ярих болно.Өгөгдөл бичихдээ доорх зурагт үзүүлсэн шиг өндөр хүчдэлийн VPP-ийг хаалган дээр тавьж хөвөгч хаалга руу цэнэг оруулах шаардлагатай.Тарьсан цэнэг нь цахиурын ислийн хальсны энергийн ханыг нэвтлэх энергигүй тул энэ нь зөвхөн одоогийн нөхцөл байдлыг хадгалах чадвартай тул бид цэнэгийг тодорхой хэмжээний энерги өгөх ёстой!Энэ нь хэт ягаан туяа шаардлагатай үед юм.
Хөвөгч хаалга нь хэт ягаан туяаг хүлээн авах үед хөвөгч хаалганы электронууд нь хэт ягаан туяаны квантуудын энергийг хүлээн авч, электронууд нь цахиурын ислийн хальсны энергийн ханыг нэвтлэх энергитэй халуун электронууд болж хувирдаг.Зурагт үзүүлснээр халуун электронууд цахиурын ислийн хальс руу нэвтэрч, субстрат болон хаалга руу урсаж, арилсан төлөв рүү буцдаг.Устгах үйлдлийг зөвхөн хэт ягаан туяаг хүлээн авах замаар хийх боломжтой бөгөөд цахимаар устгах боломжгүй.Өөрөөр хэлбэл, битийн тоог зөвхөн "1" -ээс "0" болгож, эсрэг чиглэлд өөрчлөх боломжтой.Чипийн агуулгыг бүхэлд нь устгахаас өөр арга байхгүй.
Гэрлийн энерги нь гэрлийн долгионы урттай урвуу хамааралтай гэдгийг бид мэднэ.Электронууд халуун электрон болж, улмаар оксидын хальсыг нэвтлэх энергитэй байхын тулд богино долгионы урттай гэрлийн цацраг, өөрөөр хэлбэл хэт ягаан туяа нь маш их шаардлагатай байдаг.Устгах хугацаа нь фотоны тооноос хамаардаг тул богино долгионы урттай ч устгах хугацааг богиносгох боломжгүй.Ерөнхийдөө долгионы урт 4000А (400нм) орчим байх үед устгал эхэлдэг.Энэ нь үндсэндээ 3000А орчим ханалтад хүрдэг.3000А-аас доош долгионы урт богино байсан ч энэ нь устах хугацаанд ямар ч нөлөө үзүүлэхгүй.
Хэт ягаан туяаг арилгах стандарт нь ерөнхийдөө 253.7нм-ийн нарийн долгионы урттай, ≥16000 μ Вт/см²-ийн эрчимтэй хэт ягаан туяаг хүлээн авах явдал юм.Устгах ажиллагааг 30 минутаас 3 цаг хүртэл өртөх хугацаа дуусгах боломжтой.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 12-р сарын 22